![]() |
工程 | 洗剤-純水-温純水-温風乾燥方式 |
---|---|---|
用途 | ガラス基板用洗浄装置 | |
特徴 | 液中,気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造,パーツの選択 搬送トラブルを考慮した機構を採用 |
10槽式超音波自動洗浄装置
![]() |
工程 | 洗剤-純水-温純水-温風乾燥方式 |
---|---|---|
用途 | ガラス基板用洗浄装置 | |
特徴 | 液中,気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造,パーツの選択 搬送トラブルを考慮した機構を採用 |
12槽式超音波自動洗浄装置
![]() |
工程 | 洗剤-純水-温純水-温風乾燥方式 |
---|---|---|
用途 | ガラス基板用洗浄装置 | |
特徴 | 液中,気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造,パーツの選択 搬送トラブルを考慮した機構を採用 |