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工程 | 洗剤-純水-温純水-温風乾燥方式 |
|---|---|---|
| 用途 | ガラス基板用洗浄装置 | |
| 特徴 | 液中，気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造，パーツの選択 搬送トラブルを考慮した機構を採用 |
10槽式超音波自動洗浄装置
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工程 | 洗剤-純水-温純水-温風乾燥方式 |
|---|---|---|
| 用途 | ガラス基板用洗浄装置 | |
| 特徴 | 液中，気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造，パーツの選択 搬送トラブルを考慮した機構を採用 |
12槽式超音波自動洗浄装置
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工程 | 洗剤-純水-温純水-温風乾燥方式 |
|---|---|---|
| 用途 | ガラス基板用洗浄装置 | |
| 特徴 | 液中，気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造，パーツの選択 搬送トラブルを考慮した機構を採用 |
