6槽式超音波自動洗浄装置 工程 洗剤-純水-温純水-温風乾燥方式 用途 ガラス基板用洗浄装置 特徴 液中,気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造,パーツの選択 搬送トラブルを考慮した機構を採用 6槽超音波洗浄機(配管系統図) 6槽超音波洗浄機(装置図) 6槽式超音波洗浄機(仕様書)