0602 工程 洗剤-純水-温純水-温風乾燥方式
用途 ガラス基板用洗浄装置
特徴 液中、気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造、パーツの選択 搬送搬送トラブルを考慮した機構を採用