0601 工程 洗剤-純水-IPA-IPA又は低沸点溶剤
ベーパー乾燥方式
用途 ガラスレンズ用洗浄装置
特徴 液中、気中のパーテイクル除去に配慮した槽の構造、パーツの選択
0602 工程 洗剤-純水-温純水-温風乾燥方式
用途 ガラス基板用洗浄装置
特徴 液中、気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造、パーツの選択 搬送搬送トラブルを考慮した機構を採用
0603 工程 アルカリ洗剤-市水-中性洗剤-市水-純水
-IPA-IPAベーパー乾燥方式
用途 ガラスレンズ用洗浄装置
特徴 液中、気中のパーティクル除去に配慮した槽の構造、パーツの選択
搬送トラブルを考慮した機構を採用
投入ワーク毎に洗浄モードを選択可能